白光干涉仪是一种用于亚纳米级测量各种精密设备和材料表面的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理，结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
该设备的主要用于在极宽范围进行高品质的三维表面特征测量，能够测量从粗糙的到光滑的，坚硬的到柔软的，黏性的，弯曲的表面以及各种场合下难于测量的表面。该仪器可以满足对样品3D轮廓形貌测试需求，同时可以提供粗糙度，翘曲度测试，在深海材料表面抗腐蚀定量研究，MEMS，微纳结构与器件等方面发挥巨大的作用。
为更好地服务和支撑学校师生科研、教学需求。分析测试中心特邀Bruker公司黄鹤、王洋两位应用工程师于2024年1月11日进校开展“布鲁克白光干涉量测技术研讨日”专题活动。本次专题日将探讨布鲁克白光干仪在学校各学院材料科学研究中的应用，以及详细介绍白光干涉仪的主要技术特点、原理以及上机操作演示。同时1月9-12日期间，我们将接受校内学生免费送样测试。欢迎广大师生用户积极参与，希望能为您的研究课题带来新的助力！
一、专题活动安排
二、专题活动海报
三、主讲嘉宾介绍
黄鹤博士，布鲁克公司纳米表面仪器部中国区应用经理。服务于工艺设备和测量仪器行业近20年，尤其在半导体、数据存储和材料表面工程研究领域拥有丰富经验，是一名材料学博士。黄鹤博士在西安交通大学对减摩耐磨镀层材料如碳膜、氮化钛、钛铝氮等镀层的摩擦磨损性能测试评定开展研究，在香港理工大学利用纳米压痕技术对立方氮化硼（CBN）和类金刚石（DLC）等超硬薄膜开展研究。
王洋博士,布鲁克公司纳米表面仪器部中国区应用科学家。于2020年毕业于天津大学，取得工学博士学位。2020-2022年，于中科院深圳先进技术研究院脑所从事博士后研究工作，研究课题为双光子显微成像在脑疾病微观机理方向的研究。博后出站后加入 Bruker 纳米表面仪器部担任应用科学家至今。主要从事原子力显微镜和白光干涉三维光学轮廓仪方面的应用支持工作。
四、联系人
分析测试中心物性及表面分析室 陈瑜老师
电话：15622723006
邮箱：atc_chenyu@gdut.edu.cn
附件：白光干涉仪样品测试登记表
分析测试中心
2024年1月8日
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