测试之光系列培训（一三〇）--关于台阶仪的培训通知

各师生用户：

   为更好的满足广大师生的测试需求，分析测试中心表面及物性分析室将举办第2期台阶仪自主上机操作培训，具体安排如下：

一、培训目标：

通过理论知识讲解及实际上机操作，了解台阶仪的测试原理及方法，达到应用上机操作的目的。

仪器简介：可用于台阶高度、粗糙度、波纹度、翘曲度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌测量及分析。低测定力模式不仅能够避免划伤样品，也能对于软性样品进行测试，适合于各类晶片、薄膜、涂层、MEMS、平板显示等领域的表面测量。同时，采用了Kosaka独有的直动式台阶测量方式，有效避免了传统杠杆式台阶仪所带来的圆弧误差。全身花岗岩材质的低重心设计，起到了良好的自隔震作用，从而使仪器拥有极高的分辨率和极佳的重复性（Z方向分辨率≤0.1nm，Z方向重复性1σ 0.2 nm以内）。

二、培训安排：

三、报名方式：

登录“广东工业大学分析测试中心大型仪器共享管理系统”（即http://atcrs.gdut.edu.cn/）， 在首页顶栏找到“仪器培训”,点击“仪器培训”报名。

分析测试中心

2023年6月8日