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薄膜测厚仪
2016-09-09 10:34   审核人:

仪器品牌:Semiconsoft/美国

仪器型号:UVVisNIR-MSP

主要技术指标:

   1. 光谱范围:200nm-1700nm;

   2. 测量范围:3nm-200um

   3. 精度:0.01nm0.1%,取两者较大值;

   4. 准确度:1nm或者0.2%,取两者较大值;

   5. 配备正置显微镜,8/20/50倍长工作距离物镜;

   6. 最小测量光斑直径8um;

   7. 近红外探测器为512像素InGaAs探测器;

   8. 紫外和可见光探测器为3600像素CCD探测器。

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