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微区分析
聚焦离子束场发射扫描电子显微镜 09/09
场发射透射电子显微镜 09/09
激光共聚焦显微镜 09/09
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扫描探针显微镜 09/09

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聚焦离子束场发射扫描电子显微镜
2016-09-09 10:20   审核人:


仪器品牌:TESCAN Brno,s.r.o./ 捷克共和国

仪器型号:LYRA 3 XMU

主要技术指标:

1.SEM电子光学部分

1.1)电子枪类型:热场发射电子枪;

1.2)电子枪最大束流:不小于200nA;

1.3高真空保证分辨率:1.0nm @ 30kV (SE) 2.0nm @ 1kV (SE);

1.4具有低真空模式,低真空压力范围7500Pa;

1.5)加速电压:0.2kV30kV;

1.6)放大倍数范围:不低于11,000,000X。

2. 聚焦离子束部分

2.1)离子枪加速电压:500V30kV;

2.2)离子枪束流:1pA50nA;

2.3离子枪分辨率:在SEM-FIB重合点位置上,≤2.5nm @ 30kV(统计法测量);

2.4Pt气体注入系统,可以提供其他可选择的气体如SiOxWXeF2C等;

2.5配备TEM样品取出纳米机械手:机械手控制程序必须与双束控制软件集成,并实现一体化。

3. 探测器

3.1配备镜筒内YAG晶体二次电子探测器;镜筒内YAG晶体背散射电子探测器;样品室内YAG晶体二次电子探测器;样品室内YAG晶体背散射电子探测器;

3.2)配备镜筒内SE探测器和BSE探测器,且两个探测器为独立探测器,能同时成像;

3.3)样品室内配备红外CCD

4. 样品室和样品台

4.1)样品台:5轴优中心马达;

4.2移动范围:X130mmY130mmZ100mm,倾斜范围不小于 -30°~ 90°,360度连续旋转;

4.3)可放置最大样品高度不低于139mm;

4.4)样品室接口不少于12个。

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