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微区分析
聚焦离子束场发射扫描电子显微镜 09/09
场发射透射电子显微镜 09/09
激光共聚焦显微镜 09/09
场发射扫描电子显微镜 09/09
扫描探针显微镜 09/09

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场发射透射电子显微镜
2016-09-09 10:19   审核人:

仪器品牌:FEI/捷克

仪器型号:TalosF200S

主要技术指标:

   1. 信息分辨率:≤0.12nm;

   2. 点分辨率:≤0.25nm;

   3. 加速电压:最高200kV;最低至少20kV;

   4. 高压稳定性:≤1ppm/10min;

   5. 束流:1nm束斑电流≥1nA;

   6. 束斑漂移:<1nm/min;

   7. 最小能量分辨率:≤0.8eV;

   8. 最小束斑尺寸:平行光照明模式:最小束斑≤1.0nm;汇聚束照明模式:最小束斑≤0.3nm;

   9. 透镜球差系数:≤1.5mm;色差系数:≤1.6 mm;最小聚焦步长:≤3nm;

   10. TEM放大系统:放大倍数:25-1,500,000倍;放大倍数重复性:<1.5%;

   11. 相机长度:最小≤14mm;最大≥5700mm ;          

   12. 扫描透射(STEM):分辨率:0.16nm;探头:高角环形暗场探头(HAADF);STEM放大倍数:150-230M倍;

   13. 样品台:最大倾斜角度:±90°;样品移动范围:X,Y≥2mmZ:±0.375mm;样品漂移速率(使用标准样品杆):≤0.5nm/min。

   

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