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微区分析
聚焦离子束场发射扫描电子显微镜 09/09
场发射透射电子显微镜 09/09
激光共聚焦显微镜 09/09
场发射扫描电子显微镜 09/09
扫描探针显微镜 09/09

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场发射扫描电子显微镜
2016-09-09 10:18   审核人:

仪器品牌:日立/日本

仪器型号:SU8220

主要技术指标:

   1. 二次电子分辨率:0.8nm (加速电压 15 kV,工作距离4mm)1.1 nm (着陆电压1 kV,工作距离1.5 mm)(减速模式);

   2. 放大倍率:低倍模式:202k;高倍模式:1001000k

   3. 电子枪加速电压:0.5 30 Kv0.1PA-20NA

   4. 电子枪着陆电压:0.01 2 kV

   5. 透镜系统:三级电磁透镜系统;

   6. 扫描线圈:二级电磁式偏转线圈(高倍模式),一级电磁式偏转线圈(低倍模式);

   7. 消像散器:八级电磁系统(XY);

   8. 探测器:低位(Lower)、高位(Upper)、和顶位(Top)三种探测器进行二次电子/背散射电子的接收;

   9. 束闸:电磁型;

   10. 电位移:≥12m(工作距离8 mm),工作距离改变时,电位移范围会改变;样品台可移动范围和样品尺寸:X:050 mmY:050mmZ: 1.530mmT:-570°R:0360°

   11. 样品尺寸:最大样品尺寸(直径)150mm

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